HPP高速拾取平臺

采用兩組有鐵芯直線電機(jī) BFMA 系列，極低的齒槽力

z大加速度可達(dá)到 6g，z大速度可達(dá)到 2m/s

定位精度±0.01mm，重復(fù)定位精度±0.005mm

采用光柵尺，全閉環(huán)反饋系統(tǒng)，分辨率可達(dá) 0.1μm

同一模塊集成水平和垂直兩方向的運動

適用于高速高精度持續(xù)運動的應(yīng)用場合

便于安裝，可實現(xiàn)自由編程，更改任務(wù)和流程

命名規(guī)則

平臺性能說明

MPS單軸運動平臺

采用封閉式結(jié)構(gòu)，所有元件內(nèi)置其中，整體結(jié)構(gòu)簡潔、安全

采用磁柵尺（標(biāo)配）或光柵尺的全閉環(huán)反饋系統(tǒng)，分辨率高達(dá)0.1μm

重復(fù)定位精度±2μm，并可根據(jù)客戶要求定制化開發(fā)更高精度運動平臺

多滑臺安裝機(jī)構(gòu)，柔性更高

兼容全鋼帶密封結(jié)構(gòu)，適于無塵室使用

MPS系列模組命名規(guī)則